石英玻璃硅片切盲槽穿孔來圖定制
200元2022-12-09 08:00:02
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| 產地 | 北京 | 分類 | 硅片切割 |
| 切割加工最小縫隙 | 0.05mm | 加工厚度范圍 | 0.1--2mm |
| 加工方式 | 激光切割 | 品牌 | HE |
| 微信號 | 13011886131 | 服務范圍 | 全國 |
| 硅片大小加工范圍 | 300mm | 聯(lián)系人 | 張經理 |
石英玻璃硅片切盲槽穿孔來圖定制
超薄硅片打孔是一項非常精細的工序,因為硅片較薄,打孔的時候不能損壞其表面的精度,打孔的密度、孔徑大小需要達到一定的精度以及所要求的大小。
激光打孔是將光斑直徑縮小到微米級,從而獲得高的激光功率密度,幾乎可以在任何材料實行激光打孔。其特點是可以在硬度高、質地脆或者軟的材料上打孔,孔徑小、加工速度快、效率高。
超薄硅片使用激光打孔可以打出小孔:1.00~3.00(mm);次小孔:0.40~1.00(mm);超小孔:0.1~0.40(mm);微孔:0.01~0.10(mm);


隨著硅半導體集成電路的廣泛應用,硅半導體集成電路都要用到晶圓,傳統(tǒng)的晶圓切割方法,都是手工采用金剛石刀進行切割,在晶圓上劃分出若干個圓環(huán),在劃分出的圓環(huán)上切割出面積相等或者近似相等的小圓弧體?;蛘卟捎玫氖欠蔷鶆驁A環(huán)、同一圓心角內進行切割的切割方法,這種晶圓切割方法的耗材大,經常要更換刀具,切割出來的晶圓芯片相距的寬度比較大,不均勻,所能切割的材料單一,適用性差,效率低下。
因此晶圓激光切割的方法工作效率高、能精確地調整待切割晶圓的各個方向的位置、精度高、全自動運行,對晶圓切割的位置進行準確定位,切割出來的晶圓芯片均勻、美觀,能切割多種材料,適應性強,可以避免薄晶圓因切割破裂


激光切割技術集光學、精密機械、電子技術和計算機技術于一體,于傳統(tǒng)方法相比
1、加工速度快;2、窄切槽(20um-30um),晶圓利用率高;3、非接觸式加工,適合薄基圓;4、自動化程度高,任意圖形切割。目前激光切割技術可以應用于切割硅片、低k材料、發(fā)光二極管襯底、微機電系統(tǒng)和薄膜太陽能電池等光電及半導體材料。
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