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雙色測(cè)溫儀:雙色測(cè)溫儀的典型應(yīng)用之多晶硅的生產(chǎn)測(cè)量

發(fā)布時(shí)間:2023-04-02 17:59:11 來(lái)源:互聯(lián)網(wǎng) 分類(lèi):電氣知識(shí)

文章摘要: 或許大家還不夠了解雙色測(cè)溫儀。今天就雙色測(cè)溫儀的典型應(yīng)用即多晶硅生產(chǎn)測(cè)量來(lái)為大家介紹一下。一起來(lái)看下吧!在多晶硅生產(chǎn)開(kāi)始時(shí),半導(dǎo)體硅芯在還原爐中被高壓瞬間擊穿,通過(guò)硅芯的電流使硅芯達(dá)到1080℃的工藝溫度,在硅芯由φ7mm~φ180mm成長(zhǎng)的過(guò)程當(dāng)中,該工

  或許大家還不夠了解雙色測(cè)溫儀。今天就雙色測(cè)溫儀的典型應(yīng)用即多晶硅生產(chǎn)測(cè)量來(lái)為大家介紹一下。一起來(lái)看下吧!

雙色測(cè)溫儀

  在多晶硅生產(chǎn)開(kāi)始時(shí),半導(dǎo)體硅芯在還原爐中被高壓瞬間擊穿,通過(guò)硅芯的電流使硅芯達(dá)到1080℃的工藝溫度,在硅芯由φ7mm~φ180mm成長(zhǎng)的過(guò)程當(dāng)中,該工藝溫度需要保持不變。但是,隨著硅棒直徑的不斷變大,其相應(yīng)的阻抗會(huì)不斷下降,從而使硅棒的受熱性下降。為了保持1080℃的硅棒溫度不變,只能相應(yīng)地增加工作電流(電流從開(kāi)始時(shí)的30A,到結(jié)束時(shí)為2800A)。在動(dòng)態(tài)范圍內(nèi)的大電流變化,對(duì)生產(chǎn)設(shè)備和操作人員提出了較高的要求。此外,硅棒的熔點(diǎn)在1420℃左右,因此準(zhǔn)確測(cè)量多晶硅的溫度是非常重要的。

  測(cè)量難點(diǎn):

  1、開(kāi)始生產(chǎn)時(shí)硅芯的直徑僅為φ7mm,且目標(biāo)尺寸過(guò)小。

  2、單色紅外測(cè)溫儀測(cè)量硅棒溫度時(shí),設(shè)備需要安裝在還原爐外部,通過(guò)密封窗口瞄準(zhǔn)爐內(nèi)目標(biāo)。窗口污染對(duì)透光率的影響造成了實(shí)際測(cè)量的偏差。

  3、雙層玻璃窗對(duì)紅外信號(hào)的損耗影響較大。

  采用雙色測(cè)溫儀的優(yōu)點(diǎn):

  1、利用雙色測(cè)溫儀原理,直接測(cè)量目標(biāo)的實(shí)際溫度,不受材料輻射率的影響,無(wú)需對(duì)發(fā)射率進(jìn)行補(bǔ)償。

  2、目視瞄準(zhǔn),直視目標(biāo)。

  3、對(duì)輕微的窗口污染不敏感。

  4、不再依賴(lài)紅外能量,對(duì)信號(hào)損耗不敏感。

  以上便是為您介紹的雙色測(cè)溫儀的典型應(yīng)用之多晶硅的生產(chǎn)測(cè)量,希望對(duì)您有所幫助!

雙色測(cè)溫儀:雙色測(cè)溫儀的典型應(yīng)用之多晶硅的生產(chǎn)測(cè)量

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