MFC流量顯示不穩(wěn)，如何查找并解決？

流量顯示不穩(wěn)定的因素很多，需要確認(rèn)是顯示儀的問題還是MFC的問題。 ? 1.檢驗(yàn)顯示儀 顯示儀單獨(dú)檢測(cè)，將后端15針插頭的設(shè)定與流量檢測(cè)短接，順時(shí)針調(diào)節(jié)設(shè)定旋鈕觀察前端面板瞬時(shí)流量顯示，是否可以從0到滿量程。如果不可正常從0調(diào)節(jié)到滿量程，則我們可以判斷是顯示儀發(fā)生故障。不同型號(hào)顯示儀的判斷可參考“D08系列顯示儀故障快速排查講解”介紹。 ? 2.檢驗(yàn)MFC 若能排除顯示儀問題，則很可能是實(shí)際流量控制不穩(wěn)或者M(jìn)FC問題。通?？梢詮囊韵路矫孢M(jìn)行逐一排查，迅速確定故障原因，從而根本性解決問題： ■ 可能為地線干擾，檢驗(yàn)接地系統(tǒng)。 ■ 可能為空間干擾，主要是電磁干擾，可采用適當(dāng)屏蔽，遠(yuǎn)離干擾源，選用屏蔽線等方法。 ■ 可能為氣源壓力太低，太高或不穩(wěn)，需要改變氣源氣壓，查看氣路是否有漏氣現(xiàn)象，穩(wěn)定氣源壓力。 ■ 可能為氣源內(nèi)阻過大，需要下降氣源內(nèi)阻(大流量時(shí)要注意開大閥門，加粗管道，或者是多氣瓶供氣，保證氣源充足，提高氣源供氣能力。 ■ 可能為污染，如氣源有粉塵雜質(zhì)，容易液化等，應(yīng)在通道前加裝過濾器，干燥器，或者適當(dāng)加熱。若使用硅烷等特殊氣體，應(yīng)注意管路的密封性和氣源干燥 。 ■ 可能為MFC電路或調(diào)節(jié)閥故障，需要回廠檢修。