文章摘要： 干式機械真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個方面：1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；2）半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和碾磨微粒；3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵
干式機械真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個方面： 1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中； 2）半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和碾磨微粒； 3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求； 4）在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要避免有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵； 5）用做一般無油清理真空系統(tǒng)的前級泵，以避免油污染。
干式真空泵
本文由入駐排行8資訊專欄的作者撰寫或者網(wǎng)上轉(zhuǎn)載，觀點僅代表作者本人，不代表排行8立場。不擁有所有權(quán)，不承擔(dān)相關(guān)法律責(zé)任。如發(fā)現(xiàn)本站有涉嫌抄襲侵權(quán)/違法違規(guī)的內(nèi)容， 請發(fā)送郵件至 paihang8kefu@163.com 舉報，一經(jīng)查實，本站將立刻刪除。
單級旋片真空泵受用戶歡迎的原因有哪些？
2026-02-12
超低溫閥門用奧氏體不銹鋼
2026-02-11
電子泵測試臺可以測試哪些項目？
2026-02-11
愛德華真空泵的轉(zhuǎn)子套筒套件如何挑選
2026-02-10
伺服電機替換產(chǎn)品中的步進電機時，應(yīng)注意哪些問題
2026-02-10
