干式真空泵的相關(guān)常識

干式真空泵（也稱干式機械泵）是指該泵在常壓下可啟動抽氣，并可將抽吸的氣體直接排放到大氣中。泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì)，壓力等于或接近油封真空泵的機械真空泵。

截至2013年，真空行業(yè)使用的機械真空泵大多采用油、水或其他聚合物等流體作為泵的工作介質(zhì)，在泵內(nèi)具有冷卻、密封、潤滑等多重功能。隨著科學技術(shù)的發(fā)展和真空應用領(lǐng)域的擴大，原有的機械真空泵及其排氣系統(tǒng)有兩個迫切需要解決的問題：一是泵的工作介質(zhì)倒流，污染被抽真空容器，而這種回流在很多情況下，會影響產(chǎn)品的質(zhì)量和數(shù)量，增加設(shè)備的維護成本。其次，干式真空泵中的介質(zhì)由于某些過程當中的反應物而嚴重變質(zhì)，使泵無法正常運轉(zhuǎn)。

對于普通的無油真空系統(tǒng)，雖然可以使用油封真空泵和冷阱或吸附阱等附件來避免回流，但不可徹底解決問題，使系統(tǒng)復雜化。使用合適類型的干式真空泵可以達到預期的效果。

干式真空泵應用廣泛，主要表現(xiàn)在以下幾個方面：

1、低壓化學氣相沉積多晶硅制備工藝；

2、半導體蝕刻工藝。在這些生產(chǎn)過程當中，經(jīng)常使用干式真空泵或產(chǎn)生腐蝕性氣體和磨料顆粒；

3、對于半導體工藝以外的一些會產(chǎn)生顆粒的工藝，預計顆粒不會混入干式真空泵的泵油中，預計顆粒會從泵中排出。某些類型的干式機械真空泵可以滿足要求；

4、化工、醫(yī)藥、食品等行業(yè)在蒸餾、干燥、脫氣、包裝過程當中，應避免有機溶劑造成污染，應使用干式真空泵；

5、干式真空泵作為一般無油潔凈真空系統(tǒng)的前置泵，避免油污。